File:Fraunhofer IPMS Mikroscanner auf einem BSOI Wafer.jpg

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Beschreibung

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Beschreibung
Deutsch: Mit dem Fraunhofer AME75-Prozess fertig prozessierte Mikroscanner auf einem Wafer,

a) bei designspezifischer Strukturierung ausgehend von einem blanken BSOI-Wafer.

b) bei Fertigung mit dem VarioS®-Baukastensystem basierend auf vorprozessierten BSOI-Wafern.
Datum
Quelle Eigenes Werk
Urheber Positiveimpact
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