File:Atomic layer deposition - schematic cycle DE.svg

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Kurzbeschreibungen

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Beschreibung[Bearbeiten]

Beschreibung
English: Schematic presentation of the first cycle of an atomic layer deposition (two components).
Deutsch: Schema der des ersten Zyklus einer Atomlagenabscheidung (zwei Komponenten,nicht idealisierte Darstellung)


1. Mit dem Substrat reagierter Reaktant A
2. Physisorbierter Reaktant A auf abgeschiedener Schicht
3. Nicht beschichteter Bereich (z.B. aufgrund sterischer Hinderung)
4. Nicht beschichteter Bereich, entstanden durch Desorption im Spülzyklus
5. Zielmaterial nach der Reaktion von Reaktant B mit der Precursorschicht von Reaktant A


6. Nicht reagierter Ligand von Reaktant A nach einem Zyklus
Datum
Quelle Eigenes Werk
Urheber Cepheiden
SVG‑Erstellung
InfoField
W3C red 
Der Quelltext dieser SVG-Datei ist W3C-invalid wegen eines Fehlers.
Inkscape-no 
Dieses W3C-invalide Diagramm wurde mit Inkscape erstellt, oder mit was ganz anderem.
OOjs UI icon language-constructive 
 Dieses Diagramm verwendet Text-Einbettung, die mit einem Texteditor leicht übersetzbar ist.

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10:58, 15. Mär. 2009Vorschaubild der Version vom 10:58, 15. Mär. 2009400 × 600 (323 KB)Cepheiden (Diskussion | Beiträge){{Information |Description={{en|1=Schematic presentation of the first cycle of an atomic layer deposition (two components). }} {{de|1=Schema der des ersten Zyklus einer Atomlagenabscheidung (zwei Komponenten,nicht idealisierte Darstellung) }} |Source=Eige

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