File:EUV Best Focus vs Pitch.png
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Información del archivo
Datos estructurados
Leyendas
Resumen
[editar]DescripciónEUV Best Focus vs Pitch.png |
English: The best focus varies as a strong function of pitch under the same (quasar) illumination (0.33 NA). At 36 nm pitch, horizontal and vertical darkfield features have more than 30 nm difference of focus. The 34 nm pitch and 48 nm pitch features have the largest difference of best focus regardless of feature type. |
Fecha | |
Fuente | public domain, IMEC EUVL 2018 Workshop: https://www.euvlitho.com/2018/P62.pdf |
Autor | Guiding light |
Licencia
[editar]Guiding light de Wikipedia en inglés, titular de los derechos de autor de esta obra, la publica en los términos de las siguientes licencias:
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Registro original de carga
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Fecha y hora | Dimensiones | Usuario | Comentario |
---|---|---|---|
2018-07-27 19:42:45 | 907 × 581 | Guiding light | New information |
2017-05-04 12:55:13 | 1079 × 458 | Guiding light | Uploading a self-made file using [[Wikipedia:File_Upload_Wizard|File Upload Wizard]] |
Historial del archivo
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Fecha y hora | Miniatura | Dimensiones | Usuario | Comentario | |
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actual | 04:05 15 dic 2018 | 907 × 581 (258 kB) | OgreBot (discusión | contribs.) | (BOT): Reverting to most recent version before archival | |
04:05 15 dic 2018 | 1079 × 458 (32 kB) | OgreBot (discusión | contribs.) | (BOT): Uploading old version of file from en.wikipedia; originally uploaded on 2017-05-04 12:55:13 by Guiding light | ||
03:29 15 dic 2018 | 907 × 581 (258 kB) | I love rpgs (discusión | contribs.) | Transferred from en.wikipedia (MTC!) (1.1.0) |
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